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ASML入股蔡司半導體,為了EUV急了 - 數位感
ASML 總裁暨CEO Peter Wennink表示,全球第一個由EUV微影設備製造出來的晶片可望於2018年問世。 ... 圖1展示了EUV的基本工作原理:雷射對準氙氣噴嘴。
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