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ASML光刻機技術、國產光刻機之路 - 愛伊米

而目前只有荷蘭ASML一家能夠提供可供量產用的EUV光刻機。 EUV產生工作原理：將高功率的二氧化碳鐳射打在直徑為30微米的錫液滴上，透過高功率鐳射蒸發錫 ...

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