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euv光源原理 - 07Nan

euv 光源原理 ... 為了使摩爾定律延續到2020年以后，芯片制造商將轉而采用極紫外（EUV）成像掃描儀來投射硅晶圓上的電子電路。 這只能在沒有空氣的室內進行。 一起來看看紫外 ...

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