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asml euv原理
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https://news.futunn.com/hk/post/6736174
世界上最先進的EUV光刻機,為什麼只有荷蘭阿斯麥公司做出來 ...
簡單來説,光刻的原理是,在硅片上覆蓋一層具有高度光敏感性的光刻膠,再用紫外光透過掩模照射在硅片上,被光線照射到的光刻膠會發生化學反應。
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