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ASML掛保證開放陸擬狠搶光刻機大打科技戰
由於EUV(極紫外光刻機)是先進製程必須的關鍵設備,每台造價約1.3億美元(約37億元新台幣),因此成為半導體大廠在先進製程之爭的關鍵資源。
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