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摘取光刻机皇冠上的明珠——ASML

EUV光刻机 不需. 要多重曝光，一次就能曝出想要的精细图形，没有超纯水和晶圆接触，在产品生产周期、光学. 邻近效应矫正的复杂程度、工艺控制、良率等方面 ...

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