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ASML EUV工厂探秘，HigH NA EUV光刻机首度公开亮相

目前能够制造7nm以下先进制程的EUV光刻机，一台售价约2亿美元，只有ASML一家能够供应，且产能有限。而可以制造2nm先进制程的ASML的新一代高数值孔径(High- ...

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