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asml euv光刻機
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比ASML EUV 光刻機更先進,美國公司開發出可生產0.7nm ...
目前5nm 及以下的半導體先進製程皆用到ASML 所製造的EUV 光刻機,當中可用以生製2nm 製程的新一代0.55 NA EUV 光刻機售價高達4 億美元。
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