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【情報】製造1nm晶片的EUV光刻機：ASML已完成設計

至少就目前而言ASML對於3m、2nm、1.5nm、1nm甚至Sub 1nm都做了清晰的路線規劃，且1nm時代的光刻機體積將增大不少。 據稱在當前台積電、三星的7nm、5nm製造 ...

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