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[2019/6/25] EUV能解決DRAM 1znm瑕疵嗎？ - 艾斯邁科技股份 ...

1年前，美光不認為EUV光刻機在DRAM晶片的製造環節上是必須的，甚至未來發展到1znm以下的1α和1β製程技術，可能都不需要EUV光刻機。加上EUV價格昂貴(1億 ...

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