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ASML第2代EUV光刻机开发传瓶颈，神队友救援力拼原时程问世

极紫外光刻机（EUV）目前是先进半导体制程中，不论是DRAM或晶圆代工生产过程中，进一步提升效能的关键之一。而目前荷兰商ASML则是全球唯一量产EUV光刻 ...

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