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ASML 第二代EUV 曝光機開發傳瓶頸 - 科技新報

極紫外光曝光機（EUV）目前是先進半導體製程，不論DRAM 或晶圓代工生產提升效能的關鍵。荷蘭商艾司摩爾（ASML）是全球唯一量產EUV 曝光機的廠商， ...

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