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國立交通大學應用化學研究所碩士論文

發光形狀如圖2.2-(B)，為荷蘭知名微影大廠艾斯摩爾(ASML). 所研發。因其設計圖案的關係，使其能夠 ... 使密集線與孤立線，門檻光強接近，但無法如散條修正(編號4)一樣.

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