... 全球生產EUV設備僅荷蘭ASML •導入EUV製程相應之先進曝光機、蝕刻機等技術難度高•因應EUV光強度所需之光阻劑、保護膜、光罩防塵膜等材料資料來源:ASML、各公司,MIC ...
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