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一文看懂asml光刻機工作原理及基本構造- 人人焦點

上圖是一張ASML光刻機介紹圖。下面，簡單介紹一下圖中各設備的作用。 測量台、曝光台：是承載矽片的工作檯。 雷射器：也就是光源，光刻機核心設備之一 ...

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