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ASML光刻機技術、國產光刻機之路 - 愛伊米

控制最終照射到矽片上的能量，曝光不足或過量都會嚴重影響成像質量。 光束形狀設定：. 設定光束為圓型、環型等不同形狀，不同的光束狀態有不同的光學特性 ...

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