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第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏

及ASML/750E DUV 掃描式曝光機使用248nm Kr-F 雷射當曝光光源，該設備解析度為0.13 μm，對準能力小於45nm。 3.2.3 量測機台. KLA-5200/5300 圖形對準量測機（Overlay ...

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