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想了解億元光刻機的發展歷史，看這一篇就夠了 - 壹讀

1980年代，美國SVGL公司開發出第一代步進掃描投影曝光機，集成電路圖形線寬 ... 1990年代，Cano著手300mm晶圓曝光機，推出EX3L和5L步進機；ASML ...

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