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卡位EUV 供應鏈- EUV pellicle 專利佈局分析 - SEMI

EUV 曝光機的量. 產帶動了新一輪的EUV 供應鏈的發展，包含EUV 光阻劑、EUV 光罩、EUV pellicle 等。 ASML 則扮演了EUV 供應鏈領頭羊的角色，各家供應商無不競相開發對應的 ...

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