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ASML官宣全新半導體技術5nm工藝產能有望暴漲600%
ASML官網 截圖. 據悉,HMI eScan1000是一套基於HMI多光束技術的檢測系統,用於驗證5nm及更先進工藝生產出來的晶圓質量,其突破之處在於,能夠同時 ...
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