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狂！台積電一個Fab 竟然裝了18 台EUV 光刻機?!

2017 年ASML 交付第一台量產型EUV 微影系統給台積電，寫下商用EUV 制程技術的新里程。臺灣EUV 曝光機裝機規模已領先全球，ASML 在南科成立EUV 全球技術 ...

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