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ASML總裁炮轟：中國自主研發光刻機是在破壞全球晶片産業鏈

在EUV光刻機方面，中科院半導體所和中科院微電子所聯合研發的EUV-7000光刻機已經完成了樣機的制造，並在2022年底實現了首次曝光。 這款光刻機的分辨率可以 ...

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