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ASML 官宣新一代光刻机研发进展，芯片厂商打响“2nm 工艺战”

ASML 冲刺0.55 NA EUV 光刻机. 对于芯片厂商而言，要想发展先进制程，光刻机是关键设备。而从工艺技术和制造成本综合因素考量，EUV 光刻机（极紫外光 ...

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