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一線生機!ASML:38nm DUV光刻機出口未受限仍可支持7nm
不過據生產頂尖光刻機的艾斯摩爾(ASML)公司官網表示,支持38nm製程的浸潤式DUV光刻機(1980Di)不在限制範圍內,這型光刻機可支持到7nm左右,但步驟 ...
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