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曝光機- 維基百科，自由的百科全書

曝光機（英語：Aligner）是積體電路製造的關鍵裝置。從發展歷史來看一共五種機型，分別為接觸式(contact)，接近式(proximity)，步進式(stepper)，掃描式(scanner)， ...

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