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在經主動電路系統所封裝之微電子機械系統元件中進行屏蔽與偏 ...

於標準ASIC晶圓之鈍化頂層形成一或多個擋止構造(例如凸塊結構)，以預防在具有受ASIC晶圓直接覆蓋之MEMS元件之積體元件中MEMS元件發生垂直吸附之現象。

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