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砷化鎵晶圓接合的界面型態與電性探討Interface Morphologies ...

AsGa + VAs. 上式中的AsAs表示砷位於正常位置，VGa表示鎵原子之空缺，VAs即是砷原子位. 置之空缺，另一方面，當砷原子增加時這種缺陷的濃度跟著增加［34］， GaAs.

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