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Susceptor 加熱器-產品介紹 - 科富應用材料有限公司

TFT-LCD / LED 製程中Array 製程設備中CVD 設備(化學氣相沉積鍍膜設備)零件，使用溫度可達350~400°C. 2. 材質 純鋁6061 + 陽極氧化（草酸, 混酸, 獨家專利技術）

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