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液晶面板高速影像檢查的實現 - AOIEA

在TFT-LCD 的Array 製程中，幾乎每道製程都須使用自動光學檢測(AOI， Automatic Optical Inspection)設備. 找出基板上的瑕疵的必要，在顯影(Develop)後、蝕刻(Etch) ...

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