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晶圓製備–如何從沙子到wafer？ - 每日頭條

我們所講的半導體製造，它的載體一定是晶圓(Wafer)，這個東西是怎麼來的？ ... 退火(Anneal)：怕有晶格損傷，所以退火可以去除晶格損傷，一般用Ar ...

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