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半導體制造、Fab以及Silicon Processing的基本知識- 頁3

答：Bulk Gas 為大氣中普遍存在之制程氣體, 如N2, O2, Ar 等. ... 66 FABRICATION（FAB） 制造Fabrication為“裝配”或“制造”之意，與Manufacture意思一樣，半導體制造 ...

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