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原子層沉積系統原理及其應用

驅物，過多的前驅物及副產物將由鈍氣Ar 或N2 沖 ... 鈍氣Ar 或N2 注入，沖洗帶走過多的第一前驅物. 及副產物。 3. 第二前驅物注入，並和 ... 原子層沉積(ALD) 之優缺點.

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