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RCA clean 製程 - 弘塑科技股份有限公司

常用化學品有SC-1(APM)、SC-2(HPM)、SPM、HF及BHF等，其成份與功能如下表所示。 ... SC-1(APM), 利用氨水之弱鹼性活化矽晶圓及微粒子表面，使晶圓表面與微粒子間相互 ...

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