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常用的鍍膜製程

PECVD的主. 要優點是具有較低的沈積溫度；而PECVD的缺點則是產量低，容易. 會有微粒的污染。而且薄膜中常含有大量的氫原子。 Page 37. 37. Chin-Chung ...

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