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利用電漿輔助化學氣相沉積法沉積之非晶矽與二氧化矽薄膜其 ...

論文名稱(中文):, 利用電漿輔助化學氣相沉積法沉積之非晶矽與二氧化矽薄膜其光學與機械 ... Study of the optical-mechanical properties of amorphous silicon and ...

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