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非晶系氧化物半導體之薄膜電晶體元件技術研究 - 國立交通大學 ...

近年來新興的半導體材料當中，非晶系透明導電氧化物（transparent amorphous oxide semiconductor, TAOS）因其高載子移動率、高透光度、製程穩定與高均勻性等優點， ...

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