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12吋晶圓廠的自動化趨勢:AMHS, FOUP - CTIMES
使用設計精良的AMHS,材料至工具的運輸可以相對獨立於產品流動;材料通常從高空送入,對進入貨架人員少有 ... 在fab中仍然有許多人力資源,他們都是技術人員或工程師。
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