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無塵室新風系統空氣濾網發展新思

因此，防止AMC 附著於晶圓表面或設備，將是提升. 半導體良率的關鍵需求，而AMC 防治也將成為良率提. 升的關鍵技術。也因此後期建造的無塵室也在設計之.

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