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一文读懂气态分子污染物AMC对电子半导体制程的影响 - 搜狐

对微电子半导体制造业来说，气态分子污染物（Airborne Molecular Contaminants, AMC）会造成半导体晶体表面的氧化和侵蚀，导致产品合格率降低， ...

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