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潔淨室FFU風機- 產生氣體性分子污染物AMC的量測與評估

AMC 對半導體製程良率的影響隨著製程愈來愈精細，預防的標. 準也愈形嚴格，AMC檢測的項目也從過去單純的酸鹼物質，漸漸擴增到有機物質，而有機物.

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