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綠色半導體晶圓廠創新型精確環境設計與解決無塵室污染物之移 ...

AMC (Airborne Molecular Contamination)懸浮氣. 態污染物意指環境中有能力沈積或吸附於產品 wafer 表面形成一薄膜層之化學污染物質。而無塵. 室的環境是採用循環式的空調 ...

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