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amc半導體
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潔淨室晶圓表面之無機性/有機性氣體吸附沈積行為之探討
隨著半導體元件線寬不斷縮小化,集積度不斷提升,有機/無機性微污染對半導體良率的影 ... 關鍵詞:微量分析、半導體污染控制、空降分子污染物(AMC)、吸附係數.
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