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Endura® ALPS® PVD (ALPS Co & Ni) | Applied Materials

應用材料的Endura 先進低壓源(ALPS) 鈷物理氣相沉積(PVD) 系統針對高深寬比結構中的閘極和觸點，提供簡單、高效能的矽化層解決方案。ALPS 技術將鈷延伸應用在≤90nm ...

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