... 尺寸、低功耗、高可靠、高运算速度等要求,作为衬底材料和封装材料的氧化铝的研究工作,已取得不少进展。扫描电镜观察中发现,纯氧化铝( AlO )中只有 10 %左右的特殊晶界 ...
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