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镍铂合金溅射靶材在半导体制造中的应用及发展趋势- CNKI

Application and Development Trend of NiPt Alloy Sputtering Target in ... 对镍铂硅化物在肖特基二极管制造和半导体集成电路中的应用进行了分析,综述了镍铂合金结构 ...

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