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alignment mark原理
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關於黃光及其100個疑問,這篇文章已全面解答 - 每日頭條
利用光線透過光罩照射在感光材料上,再以溶劑浸泡將感光材料受光照射到的部份加以溶解或保留,如此所形成的光阻圖案會和光罩完全相同或呈互補。
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