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半導體制造、Fab以及Silicon Processing的基本知識

答：利用靜電吸附的原理, 將Wafer 固定在極板(Substrate) 上 ... 先確定Wafer的位置從而找到Overlay MARK. 這個MARK 是一個方塊IN 方塊的結構. ... 6 ALIGNMENT 對準1.

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