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微影制程之Overlay控制 - 360doc个人图书馆

1、首先讲对位(Alignment)：现在的IC制造工艺非常复杂，需要用到三十几层光 ... 由于LSA方式采用的是干涉原理，在涂胶时的胶厚不均匀或对位标记的形状 ...

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