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液晶貼合製程參數對真空組立精度影響研究 - 中興大學機構典藏 ...

... chuck;Chamber vent;Remove pin;Pre alignment mark;Fine alignment mark ... [9]吳玉祥，TFT-LCD顯示原理製程技術與設備，光機電奈米量測系統科技整合研討會。

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