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量測裝置、微影裝置及元件製造方法

圖5說明實施掃描光點之經修改對準感測器之光學系統500，其操作原理已在上文參看圖4 ... NL1036476A1 2008-02-01 2009-08-04 Asml Netherlands Bv Alignment mark and a ...

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